性能参数
耗尽层宽度
谐振腔PD器件
标准CMOS PD器件
量子效率
0.03 µm
0.775 × 10−3
1.80 × 10−4
0.06 µm
1.5 × 10−3
3.60 × 10−4
0.09 µm
2.3 × 10−3
5.40 × 10−4