样品编号

溅射功率(W)

薄膜方块电阻(MΩ)

电阻率(Ω·m)

电导率(S/m)

S1

30

6.40

1.0360

0.965

S2

60

4.61

0.5750

1.739

S3

90

1.82

0.5625

1.778

S4

120

0.594

0.4775

2.094

S5

150

Overflow

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