靶材

PMN-PZT和PZT靶材

靶材直径

60 nm

溅射功率

100 W

靶材–衬底间距

100 mm

背底真空度

3.0 × 105 Pa

溅射气压

2 Pa

衬底温度

650℃

溅射气氛

O2/Ar混合气体(10/90)