靶材
PMN-PZT和PZT靶材
靶材直径
60 nm
溅射功率
100 W
靶材–衬底间距
100 mm
背底真空度
3.0 × 10−5 Pa
溅射气压
2 Pa
衬底温度
650℃
溅射气氛
O2/Ar混合气体(10/90)