特点

化学气相沉积

溶胶–凝胶法

物理气相沉积

原理

气体在基板表面化学反应生成薄膜

溶胶与凝胶形成的胶体在基板表面凝胶，形成薄膜

溅射的原子沉积在基板表面形成薄膜

优点

高制备速率、可扩展性好、沉积厚度均匀

适用于多种衬底和形状、较低的制备成本、沉积厚度均匀

沉积速率高、适用于大面积沉积

缺点

易受污染影响、较高的制备成本、需要复杂的实验设备

质量稳定性较差、易受制备条件影响

沉积厚度不均匀、较差的可扩展性、较高的制备成本

制备成本

较低

低

较高

生产效率

高

低

低

薄膜质量

均匀，致密，纯度高

较低的致密性和纯度，较高的多孔性

易产生微裂纹，容易受到气氛影响

应用领域

适用于生产工艺复杂，对薄膜品质要求高的器件，如半导体器件

适用于生产生物传感器、透明导电薄膜等

适用于生产一些物理性能优异的材料，如金属、合金薄膜