日期 | 真空度 (Pa) | 测量组数 (组) | 单组下落次数 (次) | 平均值与参考值的差值 (微伽) | 测量精度 (微伽) |
2017.5.25 | 约1 × 10−2 | 40 | 16 | 12622 | 137 |
2017.5.25 | 约1 × 10−3 | 40 | 16 | 693.5 | 67.8 |
2017.5.25 | 约5 × 10−4 | 40 | 16 | 168.0 | 26.4 |
2017.5.25 | 约1 × 10−4 | 40 | 16 | 88.4 | 16.9 |