| 参数名称 | 增透膜 | 熔石英基底 |
| 密度(g/cm3) | 2.32 | 2.20 |
| 折射率(1) | 1.46 | 1.45 |
| 杨氏模量(GPa) | 87.00 | 72.60 |
| 泊松比(1) | 0.16 | 0.16 |
| 熔点(K) | 1973 | 1730 |
| 热膨胀系数(K−1) | 0.50 × 10−6 | 7.95 × 10−7 |