项目
参数
仪器工作环境温度
20℃~23℃
检测元素范围
B~U
加速电压
0.2~30 kV
束流电流范围
≤ ±0.05%/h
二次电子像
6 nm
背散射电子像
≤20 nm (15 keV)
扫描倍率
40×~300.000×