项目

参数

仪器工作环境温度

20℃~23℃

检测元素范围

B~U

加速电压

0.2~30 kV

束流电流范围

≤ ±0.05%/h

二次电子像

6 nm

背散射电子像

≤20 nm (15 keV)

扫描倍率

40×~300.000×