物理气相沉积

化学气相沉积

化学镀

优点

速率快易得较薄膜层

速率快镀膜厚度易控制

设备简单普适性强

缺点

较难实现合金膜膜厚度不均匀

对金属源要求苛刻收率低

耗时长