r | ng |
| vg |
|
0.05 μm | 13.0 | 0.020 | 0.076c | 0.262 |
0.10 μm | 14.5 | 0.012 | 0.069c | 0.171 |
0.15 μm | 16.6 | 0.010 | 0.060c | 0.170 |
0.20 μm | 19.4 | 0.008 | 0.052c | 0.157 |
0.25 μm | 21.5 | 0.006 | 0.047c | 0.131 |
0.30 μm | 24.2 | 0.004 | 0.041c | 0.095 |