制备方法

X射线能量(keV)

使用材料

最外层宽度(nm)

高宽比

环数

实测衍射效率(%)

磁控溅射 + 机械减薄抛光 [39] [40] [41]

8

膜：Ag/C

细丝：Au

290

<172

28

--

8.1

膜：Ag/C

细丝：Au

250

32~36

50

16

8.54

16

8.1

膜：Cu/Al

细丝：Au

250

80~88

50

10

14.4

20

8.1

膜：Cu/Al

细丝：Au

190

42~47

100

12

100

膜：Cu/Al

细丝：Au

160

1125

70

--

ALD + FIB [42] [43] [44]

8

膜：Al₂O₃/Ta₂O₅

细丝：光纤

35

169

103

15.58

35

243

103

11.93

10

190

360

1.87

1.2

膜：Al₂O₃/Ta₂O₅

细丝：光纤

35

28.5

103

--

1.4

膜：Al₂O₃/HfO₂

细丝：光纤

25

28

--

1.5

1.5

1.9

1.6

0.2