衬底

本底压强(Pa)

溅射压强(Pa)

溅射功率(W)

Ar/O₂流量比

基底温度(℃)

薄膜厚度(nm)

PET

10⁻⁴

0.2~0.5

10

4:1~6:1

室温

400

PET + TiO₂

PET + SnO₂

PET + ZnO