实验组别

磨轮线速度

(m/s)

硅片线速度

(mm/s)

线速比

倒角时长

(S)

效率提升

(和第一组对比)

第一组

41~43

10

4200

105

0%

第二组

62~64

15

4200

84

25%

第三组

82~86

20

4200

73

44%

第四组

124~128

30

4200

70

50%