专利公开号

专利家族规模

标题

公开(公告)日

当前申请(专利权)人

JP6782218B2

6

检测装置及检测方法

2020-11-11

株式会社东芝

US9054640B2

3

用于薄膜内摩擦和杨氏模量测量的超高Q硅悬臂谐振器的方法和系统

2015-06-09

US GOVT SEC OF THE NAVY CHIEF OF NAVAL RES OFFICE OF COUNSEL ONR NRL

CA3069115A1

3

矢量应力检测系统

2021-05-25

哈利伯顿能源服务公司