专利公开号 | 专利家族规模 | 标题 | 公开(公告)日 | 当前申请(专利权)人 |
JP6782218B2 | 6 | 检测装置及检测方法 | 2020-11-11 | 株式会社东芝 |
US9054640B2 | 3 | 用于薄膜内摩擦和杨氏模量测量的超高Q硅悬臂谐振器的方法和系统 | 2015-06-09 | US GOVT SEC OF THE NAVY CHIEF OF NAVAL RES OFFICE OF COUNSEL ONR NRL |
CA3069115A1 | 3 | 矢量应力检测系统 | 2021-05-25 | 哈利伯顿能源服务公司 |