样品编号 | 沉积时间(min) | 交流靶溅射功率(W) | 沟道宽度(μm) | 退火温度(℃) |
A1, A2, A3 | 30 | 80, 100, 120 | 100 | 未退火 |
B1, B2 | 30 | 120 | 50, 100 | 未退火 |
C1, C2, C3 | 30 | 80, 100, 120 | 100 | 550, 650, 750 |