样品编号

沉积时间(min)

交流靶溅射功率(W)

沟道宽度(μm)

退火温度(℃)

A1, A2, A3

30

80, 100, 120

100

未退火

B1, B2

30

120

50, 100

未退火

C1, C2, C3

30

80, 100, 120

100

550, 650, 750