样品编号 | 沉积时间(min) | 直流靶放电电流(mA) | 交流靶溅射功率(W) | 薄膜沟道宽度(μm) | 退火温度(℃) |
H1, H2, H3 | 30 | 50 | 80, 100, 120 | 100 | 未退火 |
I1, I2, I3 | 30 | 50 | 80, 100, 120 | 100 | 550, 650, 750 |
J1, J2 | 30 | 50 | 120 | 50, 100 | 未退火 |
K1, K2, K3 | 30 | 50, 100, 150 | 80, 100, 120 | 100 | 未退火 |