样品编号

沉积时间(min)

直流靶放电电流(mA)

交流靶溅射功率(W)

薄膜沟道宽度(μm)

退火温度(℃)

H1, H2, H3

30

50

80, 100, 120

100

未退火

I1, I2, I3

30

50

80, 100, 120

100

550, 650, 750

J1, J2

30

50

120

50, 100

未退火

K1, K2, K3

30

50, 100, 150

80, 100, 120

100

未退火