参数

值

工件尺寸

40 nm * 16 nm * 17 nm

工件材料

砷化镓

工件晶向

[110]、[100]、[111]

磨料半径

3.5 nm

划刻速度

100 m/s

划刻深度

3.5 nm

划刻距离

15 nm

初始温度

300 K

势函数

Bond-Order势函数

步长

1 fs