靶材类别

工艺

相对密度/%

晶粒尺寸/μm

电阻率/(Ω·cm)

湿法粉靶材

1560℃ × 20 h, 0.6 MPa

99.89

6~10

1.9

1510℃ × 20 h, 0.6 MPa

99.72

2.0~4.5

2.0

1550℃ × 10 h，常压

99.80

5~8

1.9

气化粉靶材

1560℃ × 20 h, 0.6 MPa

99.80

5~8

1.9

1510℃ × 20 h, 0.6 MPa

93.20

2~5

2.7

1550℃ × 10 h，常压

99.58

5~8

2.1