作用机理

测量方法

制备方法

优点

缺点

金属氧化物气敏传感器

电导率

喷涂

响应速度快，稳定

高温下工作

机聚合物气敏传感器

电导率，电容

电镀，丝网印刷

常温工作

对湿度敏感

电势气敏传感器

电压，电流

微加工

集成度高

气体响应程度需要达到肖特基门限

质量敏感型气敏传感器

频率

电镀，丝网印刷，

灵敏度高

制作较为复杂

光学气敏传感器

光谱吸收

电镀，丝网印刷，

屏蔽噪声能力强，适应性强

价格昂贵