| 特性 | 制备成本 | 生产效率 | 薄膜质量 | 优点 | 缺点 | 应用领域 |
| 热CVD | 高 | 低 | 高 | 高温高压环境可控、沉积速率快 | 高温易损伤衬底、生产效率低 | 适用于半导体、太阳能电池等领域 |
| PECVD | 低 | 高 | 低 | 低温低压环境衬底受损伤小 | 沉积速率慢、易产生粉尘 | 适用于显示器、光伏等领域 |