序号

抛光间隙 $\delta$

最大深度MR_dmax/μm

X向/mm

Y向/mm

粗糙度Ra/μm

紫外光透过率(%)

抛光去除体积MR_V (mm³ 10⁻⁶)

粗糙度下降率(%)

U0

/

/

/

/

0.80

24.25

/

/

A1

0.5

6.15

3.26

2.35

0.085

46.85

7.68

89.37

A2

1.0

4.02

2.8

1.95

0.154

43.12

2.31

80.75

A3

1.5

2.52

2.02

1.55

0.265

38.25

1.05

66.87

A4

2.0

2.02

1.52

1.24

0.374

32.56

0.52

53.25