控制方式 | 最大误差/μm | 稳定时间/s | 稳态误差/μm |
PID | 301.15 | 0.2 | 31.18 |
ADRC | 227.43 | 0.06 | 24.54 |
C-ADRC | 217.39 | 0.055 | 21.02 |
I-ADRC | 210.84 | 0.016 | 19.55 |