| 机构类型 | 2016年 | 2017年 | 2018年 | 2019年 | 2020年 |
| 全国 | 387.8 | 403.4 | 438.1 | 480.1 | 523.5 |
| 科研机构 | 39 | 40.6 | 41.3 | 42.5 | 45.4 |
| 高等学校 | 36 | 38.2 | 41.4 | 56.5 | 61.5 |
| 规上工业企业 | — | — | — | 315.2 | 346 |