位置

硅片编号

1

2

3

4

5

1

0.628

1.538

0.627

1.589

0.687

2

0.628

1.559

0.675

1.602

0.825

3

0.766

1.618

0.649

1.520

0.814

4

0.758

1.533

0.658

1.709

0.945

5

0.714

1.579

0.714

1.671

0.911

6

0.781

1.622

0.764

1.541

0.945

7

0.712

1.616

0.686

1.536

0.897

8

0.599

1.415

0.697

1.416

0.834

平均值

0.698

1.560

0.684

1.573

0.857