涂层物质来源

涂层原子获得方法

镀膜技术类型

镀膜技术名称

能量来源

气态源

气体

热化学气相沉积

热CVD

热能1000℃

金属有机物化学气相沉积

MOCVD

热能500℃

辉光放电等离子体化学气相沉积

PECVD

直流辉光

射频辉光

微波辉光

弧光放电等离子体化学气相沉积

热丝弧PECVD

热弧光等离子炬

等离子炬弧光PECVD