| 各项指标 | 金刚刀划片 | 砂轮划片 | 激光划片 |
| 划线深度 | 小于10 μm | 2~500 μm | 50~170 μm |
| 划线宽度 | 10~30 μm | 20~60 μm | 2~30 μm |
| 划线速度 | 20~60 mm/s | 1~300 mm/s | 200 mm/s |
| 划线方向 | 单项 | 双向 | 双向 |
| 划片定向 | 需定向 | 无要求 | 双向 |