名称

材料

尺寸(μm)

热导率K (w/cm∙K)

下电极

Au-Ge-Ni

200 * 200 * 0.25

0.44

衬底层

InP

200 * 200 * 140

0.60

下波导层

InP

半径90厚度3.5

0.68

有源层

In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As

半径90厚度2.68

0.01

上波导层

InP

半径90厚度3.5

0.68

欧姆接触

In0.53Ga0.47As

半径90厚度0.02

0.05

上电极

Ti-Pt-Au

半径90厚度0.25

2.8

焊料

In

200 * 200 * 4 .6

0.82

Cu热沉

Cu

200 * 200 * 500

3.98