名称 | 材料 | 尺寸(μm) | 热导率K (w/cm∙K) |
下电极 | Au-Ge-Ni | 200 * 200 * 0.25 | 0.44 |
衬底层 | InP | 200 * 200 * 140 | 0.60 |
下波导层 | InP | 半径90厚度3.5 | 0.68 |
有源层 | In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As | 半径90厚度2.68 | 0.01 |
上波导层 | InP | 半径90厚度3.5 | 0.68 |
欧姆接触 | In0.53Ga0.47As | 半径90厚度0.02 | 0.05 |
上电极 | Ti-Pt-Au | 半径90厚度0.25 | 2.8 |
焊料 | In | 200 * 200 * 4 .6 | 0.82 |
Cu热沉 | Cu | 200 * 200 * 500 | 3.98 |