名称

材料

尺寸(μm)

热导率K (w/cm·K)

上电极

Ti-Pt-Au

半径100厚度0.25

2.8

欧姆接触

In_0.53Ga_0.47As

半径100厚度0.02

0.05

上波导层

InP

半径100厚度3.50

0.68

有源层

In_0.53Ga_0.47As/In_0.52Al_0.48As

半径100厚度2.68

0.01

下波导层

InP

半径100厚度3.50

0.68

衬底层

InP

300 * 1600 * 140

0.60

下电极

Au-Ge-Ni

300 * 1600 * 0.25

0.44

In焊料

In

300 * 1600 * 7.00

0.82

Cu热沉

Cu

300 * 1600 * 600

3.98