材料类型 | 禁带宽度 Eg (eV) | 电子迁移率 n (cm2/V∙s) | 临界击穿电场 Ec (MV/cm) | 电容率 s (F/cm) | 热导率 k (W/cm∙K) |
Si | 1.1 | 1350 | 0.3 | 11.8 | 1.5 |
3C-SiC | 2.2 | 900 | 1.2 | 9.7 | 4.5 |
4H-SiC | 3.26 | 1190c 950a | 2.2 | 9.7 | 4.5 |
6H-SiC | 3.0 | 370c 420a | 2.4 | 9.7 | 4.5 |