| 关键参数 PARAMETER | 工艺压力 PRESSURE (mT) | RF POWER (Top) (W) | 氯气 Cl2 (sccm) | 溴化氢 HBr (sccm) | 四氟化碳 CF4 (sccm) |
| Step 1 | 550 | 0 | 0 | 0 | 60 |
| Step 2 | 550 | 400 | 0 | 0 | 60 |
| Step 3 | 300 | 350 | 90 | 27 | 0 |
| Step 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |