| 材料 | 密度/ (g/cm3) | 热膨胀系数/ (K−1) | 弹性模量/ (GPa) | 泊松比 | 热导率/ (W/m∙K) |
| AlN | 3.3 | 4.1 × 10−6 | 270 | 0.26 | 200 |
| WCu10 | 16.75 | 6.2 × 10−6 | 315 | 0.3 | 160 |
| CVD金刚石 | 3.52 | 1.0 × 10−6 | 87 | 0.25 | 1000 |
| SiC | 3.22 | 3.9 × 10−6 | 221 | 0.21 | 490 |