|
| AZO-1 (Al掺杂ZnO) | AZO-2 (Al2O3掺杂ZnO) | AZO-2/Cu/AZO-2 (AZO-2为Al2O3掺杂ZnO) |
| 膜厚 (膜厚随功率、 时间变化) | 方阻由103降至10 KΩ/□量级； 膜厚过大，透过率低于70% | 方阻由103降至1 KΩ/□量级； 膜厚过大，透过率低 | 光电性能与Cu层厚度相关， 与AZO层几乎无关； 方阻低至10−3 KΩ/□， 透过率可达85%以上 |
| 溅射压强 | 无影响 | 无影响 | 无影响 |
| 氧氩比 | 提高透过率，但劣化电学性能 | 无影响 | 无影响 |
| 氩气流量 | 无影响 | 无影响 | 无影响 |
| 衬底温度 | 室温，方阻103 KΩ/□；300℃， 方阻1 KΩ/□，透过率接近90% | 室温，方阻103 KΩ/□；300℃， 方阻10−2 KΩ/□，透过率90% | 室温，方阻低至65 Ω/□， 平均透过率达85% |
| 退火 | 提升薄膜质量，降低方阻， 提高透过率 | 提升薄膜质量，降低方阻， 提高透过率 | 破坏复合层结构，劣化光电性能 |