编号 | 氧气流量/sccm | 氮气流量/sccm | 氧气-氮气比例 |
1# | 50 | 0 |
|
2# | 40 | 10 | 4:1 |
3# | 30 | 20 | 3:2 |
4# | 20 | 30 | 2:3 |
5# | 10 | 40 | 1:4 |