参数

取值

GaAs/Al_0.9Ga_0.1As杨氏模量E₁/E₂ (MPa)

83/80

悬臂梁的长L、宽w、高h (μm)

300/40/3

GaAs/Al_0.9Ga_0.1As泊松系数

0.34/0.4

GaAs/Al_0.9Ga_0.1As热膨胀系数/K

6.0 e⁻⁶/5.2 e⁻⁶

GaAs/Al_0.9Ga_0.1As介电常数

13.18/11

空气隙厚度(μm)

2