| 仪器设备 | 线性范围 | 检出限 | 分析成本 | 同时检测元素 | 可检测元素 | 应用范围 | 选择性 |
| 原子荧光光谱仪 | 较窄 | 10−12~10−10 g/ml | 较低 | 4种 | 11种 | 较窄 | 较好 |
| 原子吸收光谱仪 | 中等 | 10−14~10−10 g/ml | 中等 | 1种 | 70多种 | 较宽 | 好 |
| 电感耦合等离子体质谱仪 | 宽 | 非常低 | 昂贵 | 多种 | 超过75种 | 很广 | 极好 |
| 电感耦合等离子体发射光谱仪 | 较宽 | 非常低 | 昂贵 | 多种 | 超过73种 | 很广 | 极好 |