紫外激光器的分类

光斑形状和波长

特性

固态调Q Nd:YAG激光器

波长：353 nm

光斑：圆形(能量从中心到边缘逐渐下降)

聚焦量级为10 μm量级

温度敏感性高，在冷启动一段时间后才达到稳定。重复频率高、聚焦光斑小，适合小尺寸加工

准分子激光器(气体激光器)

波长：取决于气体类型

光斑：矩形

(掩膜技术可产生不同几何形状的光斑)

加工的细节可小到几微米，而聚焦镜与工件之间的距离可大到50到100 mm

金属蒸汽激光器(主要使用铜蒸汽)

波长：通过混频和倍频使波长为511 nm和578 nm的铜蒸汽产生波长为255 nm，271 nm，289 nm的紫外光。光束分为高斯分布。

适用范围同固态紫外激光器，应用范围广