序号 Time	气体类别 Gas category	组成/% Ingredient/%		气体量/L Volume/L	处理时间/min Treatment time/min
序号 Time	气体类别 Gas category	SH	He-4	气体量/L Volume/L	处理时间/min Treatment time/min
1	原料气/Feed gas	72.59	27.41	28.04	30
	产品气/Production gas	99.957	0.043	26.52
	尾气/Exhaust gas	0.052	99.948	1.52
2	原料气/Feed gas	82.35	17.65	49.03	40
	产品气/Production gas	99.987	0.013	47.85
	尾气/Exhaust gas	0.041	99.959	1.18
3	原料气/Feed gas	89.26	10.74	86.56	60
	产品气/Production gas	99.962	0.038	81.68
	尾气/Exhaust gas	0.039	99.961	4.88