实验编号 | 变量工艺参数 | 对比项目 | 固定工艺参数 | 固定项目 |
1 | 电子信号 | 二次电子信号、 背散射电子信号 | 扫描方式、工作电压、 工作电流、工作距离 | 快速扫描、Vacc 1.5 kv、 le 5 μA、WD 4 mm |
2 | 扫描方式 | —— | 电子信号、工作电压、 工作电流、工作距离 | 背散射、Vacc 1.5 kv、 le 5 μA、WD 4 mm |
3 | 工作电流 | 1 μA、5 μA、10 μA、15 μA、20 μA | 扫描方式、电子信号、 工作电压、工作距离 | 背散射、快速扫描、 Vacc 2 kv、WD 4 mm |
4 | 工作电压 | 1.5 kv、2 kv、 3 kv、4 kv、 | 扫描方式、电子信号、 工作电流、工作距离 | 背散射、快速扫描、 le 10 μA、WD 8(4) mm |
5 | 工作距离 | 4 mm、4.5 mm、5 mm | 扫描方式、电子信号、 工作电压、工作电流、 | 背散射、快速扫描、 Vacc 1.5 kv、le 5 μA |