实验编号

变量工艺参数

对比项目

固定工艺参数

固定项目

1

电子信号

二次电子信号、

背散射电子信号

扫描方式、工作电压、

工作电流、工作距离

快速扫描、Vacc 1.5 kv、

le 5 μA、WD 4 mm

2

扫描方式

——

电子信号、工作电压、

工作电流、工作距离

背散射、Vacc 1.5 kv、

le 5 μA、WD 4 mm

3

工作电流

1 μA、5 μA、10 μA、15 μA、20 μA

扫描方式、电子信号、

工作电压、工作距离

背散射、快速扫描、

Vacc 2 kv、WD 4 mm

4

工作电压

1.5 kv、2 kv、

3 kv、4 kv、

扫描方式、电子信号、

工作电流、工作距离

背散射、快速扫描、

le 10 μA、WD 8(4) mm

5

工作距离

4 mm、4.5 mm、5 mm

扫描方式、电子信号、

工作电压、工作电流、

背散射、快速扫描、

Vacc 1.5 kv、le 5 μA