阳极面积/阴极面积 | 最小厚度(单位:微米) | 最大厚度(单位:微米) | 均匀性(%) |
0.5 | 6.8 | 12.4 | 30.6 |
2 | 10.8 | 15.8 | 18.8 |
3 | 12.1 | 12.8 | 2.8 |
4 | 16.4 | 21.2 | 12.8 |