| 版1 投影式光刻机转速：5000 r 版上占空比(line/space) 2.296：2.356 (μm) | ||||||||||||
| 工艺条件 | 显影(s) | 曝光ms (TEXT-2) | ||||||||||
| 100 | 130 | 160 | 190 | 220 | 250 | 280 | 310 | 340 | 370 | 400 | ||
| 前烘：110℃/1min 后烘：110℃/1min | 6 | 过显 | ||||||||||
| +1.5 | 飞 | 过显 | ||||||||||
| +1.5 | 飞 | 过显 | ||||||||||
| +1.5 | 飞 | |||||||||||
| 8 | 飞 | 过显 | ||||||||||
| 10 | 飞 | 过显 | ||||||||||
| 前烘：110℃/2min 后烘：110℃/2min | 5 | 正常显开，没过显 | ||||||||||
| +5 | 飞 | 过显 | ||||||||||
| +3 | 飞 | |||||||||||
| 前烘：110℃/3min 后烘：110℃/3min | 5 | 显影略不足 | ||||||||||
| +5 | 飞 | 过显 | ||||||||||
| +3 | 飞 | |||||||||||
| 前烘：120℃/2min 后烘：120℃/2min | 10 | 飞 | 过显 | |||||||||