版号：5

投影式光刻机转速：5000 r前烘：120℃/2min 后烘：120℃/2min

显影(s)

曝光ms (TEXT-2) 黑片

30

40

50

60

70

80

90

100

110

120

130

6

过显

欠显影

+2

部分飞

白边

金属线宽

3.45/

3.22

3.09/

3.59

2.95/

3.73

显影(s)

曝光ms (TEXT-2) 白片

20

30

40

50

60

70

80

90

100

110

120

6

×

过显

欠显影

+2

×

部分飞

白边

金属线宽

3.35/

3.31

2.98/

3.71

2.84/

3.82