样品 | Ni-Nb溅射时间(min) | Ni-Nb溅射功率(W) | Ar气流量(sccm) | 靶衬间距(mm) | 溅射压强(Pa) | 溅射温度 |
A1 | 0 | 15 | 50 | 550 | 2 | 室温 |
A2 | 30 | |||||
A3 | 60 | |||||
A4 | 90 |