材料
衬底温度(/℃)
本底真空度(Pa)
沉积速率(Å/s)
沉积氧压(Pa)
Ti
3
O
5
250
2.5 × 10
−
3
3
9.0 × 10
−
3
SiO
2
250
2.5 × 10
−
3
8
1.0 × 10
−
2