PEG用量(ppm) | 内应力(MPa) | 翘曲程度(mm) | ||
亮面 | 毛面 | 残余应力(Δσ) |
| |
1.0 | −67 | −16 | −51 | >10 |
2.0 | −59 | −18 | −41 | >15 |
3.0 | −88 | −31 | −57 | >25 |