物理气相沉积
化学气相沉积
化学镀
优点
速率快易得较薄膜层
速率快镀膜厚度易控制
设备简单普适性强
缺点
较难实现合金膜膜厚度不均匀
对金属源要求苛刻收率低
耗时长