| 准则层 | 准则层权重 | 指标层 | 指标层权重 | 
| 技术性能指标 | 0.35 | 技术普及程度 | 0.1429 | 
| 设备使用年限 | 0.1429 | ||
| 技术先进性 | 0.1429 | ||
| 技术升级改造性 | 0.1429 | ||
| 技术适用性 | 0.1429 | ||
| 操作复杂性 | 0.1429 | ||
| 设备安全性 | 0.1429 | ||
| 经济成本指标 | 0.2 | 投资成本 | 0.25 | 
| 运维成本 | 0.25 | ||
| 基础设施需求度 | 0.25 | ||
| 占地面积 | 0.25 | ||
| 环境效应指标 | 0.45 | 烟尘去除率 | 0.1111 | 
| SO2去除率 | 0.1111 | ||
| NOx去除率 | 0.1111 | ||
| VOCs去除率 | 0.1111 | ||
| 节能效益 | 0.1111 | ||
| 可再生能源利用率 | 0.1111 | ||
| 运行噪声 | 0.1111 | ||
| 对生态环境影响 | 0.1111 | ||
| 废弃物对环境影响 | 0.1111 |