实验序号

转速/ (r∙min^–1 )

压缩量/ (mm )

充气压力/ (MPa)

往复速度/ (mm∙s^–1)

磨粒粒径/ (μm)

初始表面 粗糙度/(μm)

抛光时长/ (min)

最终表面 粗糙度/ (μm)

1

1000

0.25

0.25

3

5

0.882

4

0.475

2

1125

0.25

0.3

3

2.5

0.884

4

0.402

3

1200

0.2

0.25

4

10

0.894

6

0.372

4

1500

0.25

0.3

3

10

0.88

2

0.592

5

1200

0.3

0.2

4

5

0.835

2

0.542

6

200

0.05

0.05

1

0.1

0.881

18

0.095

7

200

0.05

0.1

1

0.1

0.856

16

0.128

8

400

0.1

0.1

2

0.1

0.862

14

0.155

9

400

0.1

0.15

2

0.1

0.893

14

0.198

10

500

0.15

0.15

2

1

0.846

12

0.251